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促进有机蒸汽的敏感性检测以硅块聚酰亚胺薄膜聚合物

2015/2/22 11:15:38      点击:
      结果表明, 聚酰亚胺薄膜聚合物有机硅块超乎寻常非极性有机蒸汽的敏感性,包括氯有机溶剂蒸气。当0.18−5.34 -μm-thick有机硅块聚合物薄膜沉积了聚酰亚胺在10-MHz厚度剪切模式(TSM)振荡器,这些电影parts-per-billion执行本检测浓度(TCE)和检测灵敏度的0.5每500磅23.5赫兹−蒸气。与一个电影厚度为3.4μm(91.5 -kHz多普勒频移对膜),优化了传感器噪声最小0.04赫兹,计算检测限传感器的响应(S / N = 3),是3磅TCE的。检测限度氯化有机溶剂蒸气其他,如奈米(四氯乙烯),cis-1,2-dichloroethylene(DCE),trans-1,2-DCE、1、1-DCE、氯乙烯(VC)分别为0.6岁,6、6、11分,13磅,分别。 假设只有mass-loading频响到TSM沉积装置、硅聚酰亚胺薄膜聚合物隔断系数 块超过200000到parts-per-billion TCE的浓度,让他们至少100倍比其它已知敏感聚合物在TCE检测。我们观察到,与传统的研究、水敏感性参数的新一代杂交研究由于硅柔软的街区。水敏性与传感器响应与非极性有机蒸气。高灵敏度和长期稳定的这些传感器材料使他们的吸引力,为ultrasensitive实用的传感器。